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半导↓体行业

半导体行业

静电吸附尘埃对微电子生产业影响很大，在现代大规模集成电路（LSI）生产中，芯片的线间距非↑常微小。如果其产生静电则对几到几十微●米的尘埃吸附作『用明显。一颗直径几微米尘埃吸附在芯片√上，即可造成几∑　十根芯线之间的绝缘强度降低，使芯片漏电流增大，使用寿命缩短，甚至很快造成短路使芯片损★坏。由于静□电吸附灰尘，特别是对光电器件（CCD、LED、光电电池ㄨ等），其转换效率会大大降低。如图1-10所示为尘埃粒度与IC芯片Ψ间距的比较。酸、碱、硅等微粒子吸附在芯片上，还可造成芯片腐蚀。

芯片▓检测设备静电防护

安装Tronovo埃用〗静电消除棒，可解决芯片生产环节电性不「良品问题。

光刻腐蚀静电消除

光刻⌒　腐蚀的速度较快，发生了静电放电▅损害。

晶圆切割/成型静电消■除

晶圆划ζ片时，可防止由于拾□　取带电造成的静电破坏。

硅ω　晶片搬动的静电去除

硅晶片搬动，可防止由于拾取带电造成的静电破坏。

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